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年销售额占比: 22%（Vacuum Technique 占 Atlas Copco 集团营收；Edwards 为 Vacuum Technique 核心品牌）
预计出货量: 约1.0–1.5万台（半导体真空泵及尾气处理系统合计，按全球市场规模与市占率反推估算/预计）
单价: 数万至数十万美元（因型号差异大）
segment: 半导体设备零部件
上游到底: 是
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# 产品介绍

> 如果把刻蚀/沉积设备比作「芯片工厂的厨房」，真空泵就是「抽油烟机」——它负责在工艺过程中将反应腔体抽至超高真空（10⁻⁹ mbar 量级），并在工艺结束后排出有毒/腐蚀性尾气。Edwards 的半导体真空泵是全球晶圆厂的「标配」，几乎所有先进制程产线都能看到它的身影。

# 关键规格

| 指标 | 参数 |
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| 核心产品线 | 干式真空泵（Dry Pump）、涡轮分子泵（TMP）、低温泵（Cryo Pump）、尾气处理系统（Abatement） |
| 全球半导体真空泵市占率 | 约 40–45%（行业第一） |
| 干式真空泵市占率 | 约 45–50% |
| 涡轮分子泵市占率 | 约 30–35%（与 Pfeiffer 竞争） |
| 极限真空度 | 可达 10⁻¹¹ mbar（低温泵） |
| 工作温度范围 | -200°C 至 +200°C（因型号而异） |
| 单台价格区间 | 干泵 $3–10 万，TMP $5–20 万，尾气处理系统 $10–50 万 |
| 主要客户 | 泛林、应用材料、ASML、TEL、KLA |

# AI产业链角色

> Edwards 真空泵是 AI 算力芯片制造的**「环境守护者」**——没有稳定的真空环境，等离子体刻蚀和化学气相沉积都无法进行。

- **不可替代性**：
  - **刻蚀设备**：每一台刻蚀腔体需要 2–4 台干泵 + 1–2 台涡轮分子泵维持真空。
  - **EUV 光刻**：ASML EUV 机器内部需要多级真空系统，Edwards 是 ASML 的核心真空供应商之一。
  - **沉积设备**：CVD/ALD 工艺对真空洁净度要求极高，Edwards 的尾气处理系统（abatement）负责处理有毒副产物（如 NF₃、SF₆）。
- **需求放大器**：
  - 制程越先进，真空步骤越多。3nm 产线的真空泵数量比 7nm 多 30–50%。
  - 先进封装（CoWoS）需要额外的真空设备用于临时键合/解键合。
- **价值集中处**：在半导体设备 capex 中，真空子系统约占单台设备成本的 5–10%，但故障停机的损失远超其本身价值。

# 其他说明

- **单价**：干式真空泵 $3–10 万美元，涡轮分子泵 $5–20 万美元，集成尾气处理系统可达 $30–50 万美元。
- **半导体真空泵市场**：2025 年全球约 23 亿美元，预计 2034 年增长至 41 亿美元（CAGR 8.9%）。
- **年销售额占比**：22% 为 Vacuum Technique 占 Atlas Copco 集团比例，Edwards 是 Vacuum Technique 最核心的品牌。
- **竞争动态**：
  - 干泵：Edwards（~45%）> Ebara（~20%）> Pfeiffer（~15%）
  - TMP：Pfeiffer（~35%）> Edwards（~30%）> Ebara（~15%）
- **中国替代**：中科仪（CETC 旗下）和汉钟精机在国内晶圆厂中低端干泵领域有所突破，但高端 TMP 和尾气处理仍依赖进口。

### 上游产品

（已到最上游原材料/源头）

### 下游产品

- [ASML-EUV光刻设备](ASML-EUV光刻设备.md)：Edwards Vacuum专为ASML EUV光刻系统供应真空泵及废气处理系统（Edwards官网和Wikipedia均明确），Edwards自2014年起是Atlas Copco的全资子公司，以Edwards品牌对ASML直供；Atlas Copco作为母公司间接参与，关系真实存在但直接对接品牌是Edwards。
- [应用材料-沉积与刻蚀设备](应用材料-沉积与刻蚀设备.md)：阿特拉斯·科普柯（通过子品牌Edwards）为半导体制造设备提供真空泵配套，Edwards为全球半导体行业主流真空泵供应商；应用材料刻蚀/沉积设备需要高真空环境，Atlas Copco/Edwards是其真空泵组件供应商（据Atlas Copco官网半导体制造页面）。
- [泛林-刻蚀设备](泛林-刻蚀设备.md)：半导体设备零部件行业报告指出，Edwards真空泵（2014年被Atlas Copco并购）是半导体刻蚀/CVD设备的核心配件，是泛林等刻蚀设备厂的重要真空泵供应商；Atlas Copco通过Edwards品牌向泛林供应真空泵（产业配套推断，行业研报印证）。
- [爱德万测试-测试设备](爱德万测试-测试设备.md)：半导体ATE测试机台需要真空吸附DUT，Atlas Copco旗下爱德华真空是半导体设备真空泵主要供应商（Atlas Copco半导体事业部公开资料）
- [盛美半导体设备（上海）-清洗设备](盛美半导体设备（上海）-清洗设备.md)：清洗设备晶圆传输和腔体需要真空系统，Atlas Copco旗下爱德华真空是半导体设备真空泵核心供应商（Atlas Copco半导体事业部产品线）
