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年销售额占比: 电子特种气体为特种气体主要收入构成（特种气体整体占营收约65%，华特气体2025年半年报）
segment: 半导体材料
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# 产品介绍
华特气体电子特气产品线涵盖光刻气（Ar/Ne/Xe、Kr/Ne等混合气，通过ASML及GIGAPHOTON认证）、氟碳刻蚀气体（高纯四氟化碳CF4、六氟乙烷C2F6、八氟丙烷C3F8等）、氢化物（硅烷SiH4、磷烷PH3）及高纯惰性气体，关键规格为纯度≥99.9999%（6N级）。
# AI产业链角色
电子特气是芯片光刻、刻蚀、CVD沉积等核心工序的必需品，AI芯片先进制程（5nm以下）对高纯氟碳类刻蚀气和光刻气的用量与纯度要求持续提升，华特气体是国内晶圆厂供应链国产化关键供应商。

### 上游产品

- [SF6等）](SF6等）.md)
- [多氟多-氟化物气体原料](多氟多-氟化物气体原料.md)：电子特气行业深度报告（腾讯新闻2023年）：多氟多是国内氟化物特气上游核心供应商，为华特气体等电子特气企业提供含氟原料
- [氙空分气体](氙空分气体.md)

### 下游产品

- [中芯国际-晶圆代工](中芯国际-晶圆代工.md)：新浪财经2026年4月：华特气体「实现国内8寸、12寸集成电路制造厂商超90%客户覆盖」，中芯国际为核心下游客户之一，高纯氟代烷烃已进入中芯国际供应链
- [台积电-晶圆代工](台积电-晶圆代工.md)：智东西内参2021年：华特气体高纯氟代烷烃产品进入英特尔、台积电等国际客户供应链（华特气体公司官网及公开报道）
- [联电-晶圆代工](联电-晶圆代工.md)：华特气体2025年年度报告：公司实现国内外晶圆代工厂及存储厂广泛覆盖，联电（UMC）为重要成熟节点晶圆代工客户
