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年销售额占比: 半导体检测设备占KLA总营收约95%+
单价: 高端电子束检测设备约5000万-1亿美元/台，光学检测设备约1000万-5000万美元/台
segment: 半导体设备
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# 产品介绍
KLA的半导体检测设备产品线涵盖电子束检测（e-beam inspection）、光学检测（optical inspection）、光罩检测（reticle inspection）和薄膜测量（thin film metrology）四大类。在AI芯片制造领域，KLA的设备用于检测GPU、HBM、CPU等芯片制造过程中的缺陷和工艺偏差，是保障芯片良率的核心设备。

# 关键规格
- **eSL30电子束检测**：分辨率<0.5nm，用于3nm及以下先进制程缺陷检测；
- **39xx系列光学检测**：波长覆盖DUV-可见光，用于图案化晶圆缺陷检测；
- **Teron光罩检测**：EUV光罩缺陷检测，确保光刻精度；
- **Archer overlay测量**：套刻精度测量，控制多层图案对准；
- **Sentinel封装检测**：用于先进封装（CoWoS/EMIB）的缺陷检测。

# AI产业链角色
半导体检测设备处于AI算力产业链的**半导体设备层**，是芯片制造过程中保障良率的关键环节。KLA的检测设备向上采购精密光学元件、精密机械部件、电子元器件等，向下供应给台积电、三星、英特尔、中芯国际等晶圆代工厂和存储芯片厂商。

# 其他说明
- 全球半导体检测设备市占率约50%+，绝对垄断；
- 台积电、三星、英特尔等头部晶圆厂的标配设备；
- 每一颗AI芯片（GPU/HBM/CPU）都需要经过KLA设备的数十道检测；
- 随着制程向3nm/2nm演进，检测技术壁垒在加深；
- 中国收入占比约25%，地缘政治风险值得关注。

### 上游产品

- [MKS-射频电源](MKS-射频电源.md)：MKS Instruments是半导体设备领域包括检测在内全制程射频电源头部供应商，KLA检测设备中等离子体相关模块使用MKS射频电源，属产业配套关系（MKS官网；GlobeNewswire市占率报告；产业配套推断）。
- [蔡司-EUV光学系统](蔡司-EUV光学系统.md)：KLA-Tencor与Carl Zeiss Microelectronic Systems建立光掩模检测领域战略联盟，联合开发互联检测系统（EE Times报道），蔡司光学系统在KLA高端光学检测设备中具有供应关系。

### 下游产品

- [三星-晶圆代工](三星-晶圆代工.md)：KLA是全球检测量测设备龙头（市占率超52%），主要客户包括台积电、三星、英特尔等，三星晶圆代工厂采用KLA缺陷检测及量测设备属产业标配（来源：KLA官网及半导体检测设备行业研报，2023）。
- [台积电-晶圆代工](台积电-晶圆代工.md)：KLA是全球半导体检测量测设备龙头（市占率超50%），台积电是其核心客户，KLA检测设备覆盖台积电从28nm到3nm的全线制程节点（来源：CSDN KLA产品线分析、知乎KLA成长路径报告）。
- [英特尔-先进封装](英特尔-先进封装.md)：KLA是全球领先的半导体量测与缺陷检测设备供应商，主要客户包括Intel、TSMC、SMIC等，英特尔先进封装制程中使用KLA提供的全表面晶圆级缺陷检测和量测集群系统（来源：kla.com，eefocus.com）。
