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年销售额占比: 半导体光刻设备约占佳能总营收5%-8%（估算）
单价: i-line光刻机约500万-2000万美元/台，KrF光刻机约2000万-4000万美元/台
segment: 光刻设备
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# 产品介绍
佳能的DUV光刻设备主要包括i-line（波长365nm）和KrF（波长248nm）光刻机，用于成熟制程半导体芯片的制造。与ASML的EUV和高端ArF浸没式光刻机不同，佳能的光刻设备聚焦于≥130nm的成熟制程，主要应用于功率半导体、MEMS传感器、模拟芯片、封装等细分领域。

# 关键规格
- **i-line光刻机**：分辨率≥350nm，用于功率半导体、MEMS、封装、LED等；
- **KrF光刻机**：分辨率0.25μm-0.13μm，用于成熟制程逻辑芯片、存储芯片；
- **FPD光刻机**：用于平板显示器制造，全球市占率第一；
- **对准精度**：i-line机型±50nm，KrF机型±30nm。

# AI产业链角色
佳能的DUV光刻设备处于AI算力产业链的**半导体设备层**，是功率半导体、MEMS传感器、模拟芯片等成熟制程芯片制造的关键设备。虽然不参与先进制程GPU/CPU的生产，但功率半导体（用于服务器电源、储能系统）和MEMS传感器（用于自动驾驶、工业控制）是AI基础设施的重要组成。

# 其他说明
- 佳能不生产EUV光刻机，也不生产ArF浸没式光刻机，技术定位与ASML差异大；
- 在i-line和KrF光刻机市场，佳能全球市占率约15%-20%；
- FPD光刻机（平板显示器）全球市占率第一；
- 主要客户为功率半导体厂商（英飞凌、安森美、华润微等）和MEMS厂商。

### 上游产品

- [Kyocera-精密陶瓷部件](Kyocera-精密陶瓷部件.md)：京瓷是全球半导体设备精密陶瓷零部件的主要供应商，其产品线涵盖半导体设备用高强度多层陶瓷基板、探针卡陶瓷基板等，与光刻机、刻蚀机等半导体设备厂有广泛供货（产业配套推断，京瓷官网及美股研报确认其半导体设备零部件业务）。

### 下游产品

- [华润微-功率半导体](华润微-功率半导体.md)：佳能DUV光刻机在功率半导体（IGBT、SiC等成熟制程）领域是主流设备，华润微等国内IDM厂商成熟制程产线采用佳能、尼康DUV光刻机（产业配套推断，来源：证券时报光刻机产业链报道、半导体设备深度研报）。
- [台积电-晶圆代工](台积电-晶圆代工.md)：佳能是全球第三大光刻机厂商，其DUV光刻机服务成熟制程市场，台积电成熟制程（40nm及以上）产线使用佳能DUV光刻设备（产业配套推断，来源：光刻机行业深度研报、知乎光刻机竞争格局分析）。
