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年销售额占比: 8%（估算，半导体陶瓷部件约占 Core Components 的 25%）
单价: '500–10,000 美元（因部件类型差异大）'
segment: 半导体设备零部件
上游到底: 是
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# 产品介绍

> 精密陶瓷部件是半导体刻蚀和沉积设备的「铠甲」——它们安装在等离子体反应腔体内，直接暴露在高能离子轰击和腐蚀性气体中。聚焦环（Focus Ring）引导等离子体均匀分布，喷嘴（Gas Nozzle）精确输送反应气体，腔体衬里（Chamber Liner）保护金属腔壁不被腐蚀。Kyocera 的精密陶瓷部件以其超高纯度、致密性和尺寸精度，成为全球设备商的「标配」。

# 关键规格

| 指标 | 参数 |
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| 核心产品线 | 聚焦环、喷嘴、腔体衬里、陶瓷手臂、绝缘环、ESC（静电卡盘） |
| 主要材料 | 高纯氧化铝（Al₂O₃，99.9%+）、碳化硅（SiC）、氮化硅（Si₃N₄）、氮化铝（AlN） |
| 全球半导体陶瓷部件市占率 | 约 25–30%（行业第一） |
| 纯度 | Al₂O₃ ≥ 99.9%（高纯级），气孔率 < 0.1% |
| 抗弯强度 | Al₂O₃ ≥ 300 MPa；SiC ≥ 400 MPa |
| 热膨胀系数 | Al₂O₃: ~7.2 ppm/℃（与硅晶圆匹配） |
| 单台价格区间 | 聚焦环 $500–$3,000；喷嘴 $1,000–$5,000；腔体衬里 $3,000–$10,000+ |
| 主要客户 | 泛林、应用材料、TEL、KLA |

# AI产业链角色

> Kyocera 精密陶瓷部件是 AI 算力芯片制造的**「等离子体铠甲」**——没有它们，刻蚀和沉积设备的腔体将在数小时内被腐蚀报废。

- **不可替代性**：
  - **聚焦环（Focus Ring）**：环绕在晶圆外围，引导等离子体均匀分布到晶圆边缘。在 3nm 制程中，聚焦环的尺寸精度要求 ±25 μm，任何偏差都会导致晶圆边缘刻蚀不均。
  - **喷嘴（Gas Nozzle）**：向反应腔体输送刻蚀/沉积气体，孔径精度要求 ±10 μm。Kyocera 的陶瓷喷嘴耐腐蚀、不污染工艺气体。
  - **腔体衬里（Chamber Liner）**：保护金属腔壁免受等离子体轰击和腐蚀性气体侵蚀。在氟基刻蚀（如 CF₄、SF₆）中，陶瓷衬里是唯一可行的防护方案。
- **耗材属性**：
  - 聚焦环通常每 3–6 个月更换一次（视工艺强度而定）。
  - 喷嘴每 6–12 个月更换。
  - 腔体衬里每 1–2 年更换。
  - 这种高频耗材属性意味着陶瓷部件的收入与晶圆厂的产能利用率直接挂钩，而非仅仅是 capex 周期。
- **价值集中处**：在刻蚀设备 BOM 中，陶瓷部件约占 3–5%，但更换停机造成的产能损失远大于部件本身价值。

# 其他说明

- **单价**：聚焦环 $500–$3,000，喷嘴 $1,000–$5,000，腔体衬里 $3,000–$10,000+，陶瓷 ESC $5,000–$20,000。
- **年销售额占比**：8% 为估算值。Core Components 约占 Kyocera 集团 30%，其中半导体设备用陶瓷部件约占 Core Components 的 25%，即集团约 8%。
- **竞争动态**：
  - 半导体陶瓷部件：Kyocera（~25–30%）> CoorsTek（~20–25%）> Ferrotec（~15–20%）> NGK/NTK（~10–15%）
  - 技术趋势：更大尺寸（适配 300 mm+ 设备）、更高纯度（99.99%+）、复合材料（陶瓷+金属结合）。
- **国产化**：中国大陆在半导体陶瓷部件领域处于起步阶段，山东国瓷、潮州三环等企业在氧化铝陶瓷方面有突破，但高端 SiC 和 AlN 部件仍依赖进口。

### 上游产品

（已到最上游原材料/源头）

### 下游产品

- [ASM_Pacific-封装设备](ASM_Pacific-封装设备.md)：京瓷（Kyocera）供应半导体设备用精密陶瓷部件（包括陶瓷封装、绝缘基板、精密结构件），是封装设备厂商的重要零部件供应商，属产业配套关系（京瓷官网半导体器件产品目录；产业配套推断）。
- [东京电子-涂胶显影设备](东京电子-涂胶显影设备.md)：Kyocera（京瓷）是全球半导体设备静电卡盘（ESC）及精密陶瓷部件的主要供应商，其官网明确列示为半导体/液晶显示器加工设备用静电夹盘的供应商，东京电子等设备厂商采用京瓷精密陶瓷件属产业常规（来源：京瓷中国官网精密陶瓷产品页）。
- [佳能-DUV光刻设备](佳能-DUV光刻设备.md)：京瓷是全球半导体设备精密陶瓷零部件的主要供应商，其产品线涵盖半导体设备用高强度多层陶瓷基板、探针卡陶瓷基板等，与光刻机、刻蚀机等半导体设备厂有广泛供货（产业配套推断，京瓷官网及美股研报确认其半导体设备零部件业务）。
- [华海清科-CMP设备](华海清科-CMP设备.md)：CMP设备抛光头保持环及结构件需要高强度精密陶瓷，Kyocera是半导体设备精密陶瓷部件核心供应商（华海清科IPO招股书披露核心零部件采购体系）
- [应用材料-沉积与刻蚀设备](应用材料-沉积与刻蚀设备.md)：京瓷是全球精密陶瓷部件领先厂商，为半导体设备提供陶瓷衬套、喷头、聚焦环等关键陶瓷零部件；应用材料刻蚀和沉积设备使用大量精密陶瓷部件，京瓷为主要供应商（据京瓷官网半导体产品页面，产业配套推断）。
- [泛林-刻蚀设备](泛林-刻蚀设备.md)：行业资料显示，Kyocera是全球主要半导体精密陶瓷零部件供应商，产品用于刻蚀设备、CVD设备等，泛林等刻蚀设备厂需采购陶瓷绝缘件、聚焦环等精密陶瓷部件；Kyocera是泛林等设备厂的陶瓷部件供应商（产业配套推断）。
- [爱德万测试-测试设备](爱德万测试-测试设备.md)：测试机接触件和夹具需要高精度陶瓷绝缘材料，Kyocera是半导体设备精密陶瓷部件核心供应商（Kyocera工业陶瓷产品目录）
