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年销售额占比: 电子特气（光刻气）为凯美特战略新业务（主业为食品级 CO2/工业气体），拿 Cymer 认证
segment: 半导体材料
上游到底: 是
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# 产品介绍
凯美特气光刻气（ArF/KrF 准分子激光用混合气），是 DUV 光刻机准分子激光光源产生深紫外光的工作气体，半导体光刻关键耗材。

# 关键规格
供 ArF（193nm）/KrF（248nm）准分子激光器；2023 年通过 ASML 子公司 Cymer 审查、列入合格供应商名单。

# AI产业链角色
光刻气是 DUV 光刻（准分子激光光源）的必需耗材，间接支撑 AI 芯片制造；国产替代打破国外垄断。

# 其他说明
上游为基础工业气体/稀有气体（空分），属基础原料源头，无可代表的上市公司上游产品。

# 产品细分清单
- ArF 光刻气
- KrF 光刻气
- 其他电子特种气体

### 上游产品

（已到最上游原材料/源头）

### 下游产品

- [Cymer-EUV光源](Cymer-EUV光源.md)：凯美特气光刻气 2023 年通过 ASML 子公司 Cymer 认证、列入合格供应商名单（新浪财经/半导体芯科技）
