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segment: 半导体设备
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# 产品介绍
盛美上海清洗设备包括兆声波单片清洗机、单片槽式组合清洗机及湿法先进封装设备，可用于28nm至7nm及以下先进制程晶圆的颗粒、金属离子及有机物去除，兼容12英寸晶圆，覆盖前道工艺与先进封装后道清洗场景。
# AI产业链角色
清洗设备是晶圆代工每层工序间不可省略的良率保障环节，AI芯片制造流程中每道光刻和刻蚀工艺后均需清洗。

### 上游产品

- [Atlas_Copco-真空泵](Atlas_Copco-真空泵.md)：清洗设备晶圆传输和腔体需要真空系统，Atlas Copco旗下爱德华真空是半导体设备真空泵核心供应商（Atlas Copco半导体事业部产品线）
- [NINEBELL-机器人手臂](NINEBELL-机器人手臂.md)：盛美上海公开信息披露，NINEBELL为清洗设备机器人手臂主要供应商，公司控股股东ACMR参股NINEBELL持股20%（东方财富2025年年报简析）
- [Product_Systems_Inc.-兆声波发生器](Product_Systems_Inc.-兆声波发生器.md)：盛美上海2025年年报及公开研究报告披露，Product Systems Inc.是其单片清洗设备兆声波发生器的主要供应商

### 下游产品

- [中芯国际-晶圆代工](中芯国际-晶圆代工.md)：盛美上海研究报告明确披露中芯国际为重要客户，公司清洗设备已在其28nm及以下制程量产线装机（东方财富2025年年报简析）
- [台积电-晶圆代工](台积电-晶圆代工.md)：台积电是全球顶级晶圆代工厂，使用清洗设备于先进制程每层工艺间，盛美上海通过先进制程客户认证（行业公开信息及盛美上海研究报告，未来智库2024）
- [联电-晶圆代工](联电-晶圆代工.md)：联华电子（UMC）是盛美上海境外重要客户之一（盛美上海境外营收结构信息，头豹研究院2025）
