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年销售额占比: 25%（估算，射频与功率传输占半导体子系统主要部分）
单价: 数千至数万美元（因功率等级差异大）
segment: 半导体设备零部件
上游到底: 是
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# 产品介绍

> 射频电源（RF Power Supply）是半导体等离子体刻蚀和沉积设备的「心脏」。它把市电转换为 13.56 MHz（或 2 MHz / 60 MHz）的高频交流电，在反应腔体内激发等离子体。刻蚀的精度、均匀性和选择性，很大程度上取决于 RF 电源的功率稳定性、阻抗匹配速度和波形控制能力。MKS 是全球半导体 RF 电源的双寡头之一。

# 关键规格

| 指标 | 参数 |
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| 核心产品线 | RF 电源、阻抗匹配器（Matching Network）、直流电源、等离子体发生器 |
| 全球半导体 RF 电源市占率 | 约 35–40%（与 Advanced Energy 并列为双寡头） |
| 主要频率 | 13.56 MHz（标准）、2 MHz（高深宽比刻蚀）、60 MHz（低损伤刻蚀） |
| 功率范围 | 数百瓦至 10 kW+ |
| 阻抗匹配速度 | < 1 秒（决定工艺切换效率） |
| 功率稳定性 | ±0.5%（决定刻蚀均匀性） |
| 单台价格区间 | $5,000 – $50,000+（RF 电源）；$3,000 – $20,000（匹配器） |
| 主要客户 | 泛林、应用材料、TEL、KLA |

# AI产业链角色

> MKS 射频电源是 AI 算力芯片制造的**「等离子体心脏」**——它决定了刻蚀设备能否在纳米尺度上精确雕刻电路。

- **不可替代性**：
  - **导体刻蚀**：刻蚀硅栅极和金属互连时，需要高功率 RF（>3 kW）维持高密度等离子体。MKS 的 RF 电源是泛林 Kiyo/Sense.i 系列的标配。
  - **介质刻蚀**：刻蚀氧化硅/氮化硅时，需要低频 RF（2 MHz）实现高深宽比。MKS 的多频电源方案是主流选择。
  - **原子层刻蚀（ALE）**：ALE 需要脉冲式 RF 输出，对电源的响应速度和波形控制要求极高，MKS 是少数能满足要求的供应商。
- **需求放大器**：
  - 先进制程中，单台刻蚀设备需要 2–4 套 RF 电源系统（上电极 + 下电极 + 偏压）。
  - 3D NAND 层数每翻倍，高深宽比刻蚀对 RF 功率的需求增加 50–100%。
- **价值集中处**：在刻蚀设备 BOM 中，RF 子系统约占 10–15%，是仅次于真空系统的第二大子系统。

# 其他说明

- **单价**：基础 RF 电源 $5,000–$15,000，高端多频电源 $30,000–$50,000+，阻抗匹配器 $3,000–$20,000。
- **竞争格局**：
  - RF 电源：MKS（~35–40%）≈ Advanced Energy（~30–35%）> Comet（~10%）
  - 阻抗匹配器：MKS（~40%）> Advanced Energy（~30%）> Daihen（~10%）
- **技术趋势**：
  - 多频/宽带 RF：一台设备集成 2 MHz + 13.56 MHz + 60 MHz，减少硬件数量。
  - 脉冲 RF：用于 ALE 和低损伤刻蚀，要求电源响应速度 < 1 ms。
  - 自研替代风险：部分设备商（如泛林）在某些平台尝试自研 RF 子系统，但验证周期长，短期内难以替代 MKS。

### 上游产品

（已到最上游原材料/源头）

### 下游产品

- [ASM_Pacific-封装设备](ASM_Pacific-封装设备.md)：MKS Instruments是半导体设备行业射频电源第一大供应商（2021年市占率第一，GlobeNewswire），射频电源是封装、刻蚀、沉积设备的通用关键部件，ASM Pacific封装设备采用MKS射频电源属产业配套推断（产业配套推断）。
- [KLA-检测设备](KLA-检测设备.md)：MKS Instruments是半导体设备领域包括检测在内全制程射频电源头部供应商，KLA检测设备中等离子体相关模块使用MKS射频电源，属产业配套关系（MKS官网；GlobeNewswire市占率报告；产业配套推断）。
- [东京电子-涂胶显影设备](东京电子-涂胶显影设备.md)：MKS Instruments是全球半导体设备射频电源及过程控制组件的重要供应商，为东京电子等半导体设备厂商提供射频电源等关键子系统，属设备零部件产业配套（来源：华强商城MKS品牌介绍；产业配套推断）。
- [中微公司-刻蚀设备](中微公司-刻蚀设备.md)：MKS Instruments射频电源（RF Power）是刻蚀/CVD设备的核心子系统，中微公司CCP/ICP刻蚀机历史上采购MKS等海外射频电源，行业研报指出中微供应链中美国零部件占比约9-12%（来源：21经济网《中微公司刻蚀机国产化之路》，2022年）。
- [北方华创-半导体设备](北方华创-半导体设备.md)：MKS是全球最主要射频电源子系统供应商，在半导体设备射频电源赛道市占率居前，北方华创等半导体设备厂商的刻蚀/CVD设备需要配套MKS射频电源（产业配套推断，来源：半导体零部件深度报告，2022年）。
- [尼康-DUV光刻设备](尼康-DUV光刻设备.md)：MKS Instruments是半导体设备射频电源的全球主要供应商，DUV光刻机中的等离子体光源模块需要射频电源，MKS是尼康等光刻设备商的零部件供应商（产业配套推断；MKS官方资料中光刻是核心应用场景）。
- [应用材料-沉积与刻蚀设备](应用材料-沉积与刻蚀设备.md)：MKS Instruments是全球射频电源市场第一（市占率48.8%），半导体刻蚀/沉积设备必须配备射频电源，应用材料是MKS的核心大客户，MKS射频电源广泛集成于应用材料等离子刻蚀和CVD/ALD设备（据未来智库MKS研报2023）。
- [泛林-刻蚀设备](泛林-刻蚀设备.md)：半导体设备零部件行业报告（2022年）指出，射频电源是刻蚀设备的核心部件，MKS Instruments是全球主要射频电源供应商，向泛林等刻蚀设备厂供应RF Power Generator等关键部件（产业配套推断，行业研报印证）。
